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  • 半導(dǎo)體精密運動平臺

半導(dǎo)體精密運動平臺

  • 半導(dǎo)體精密運動平臺XY軸采用直線電機(jī)驅(qū)動,滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋組成,R軸直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn),Z軸布置于平臺大理石橫梁,常用于半導(dǎo)體精密制造及檢測。

  • 產(chǎn)品參數(shù)

    Tips:絲桿模組行程超過750mm時,會產(chǎn)生螺桿偏擺,此時請將降低速度;最高速度是以伺服馬達(dá)最高轉(zhuǎn)速3000RPM以下為基準(zhǔn);馬達(dá)加減速設(shè)定為0.2s。

  • 注意:限于文件大小和數(shù)量限制,高清產(chǎn)品手冊PDF版及完整的產(chǎn)品3D模型STEP文件,請聯(lián)系我司業(yè)務(wù)人員獲取,給您帶來不便敬請諒解!

半導(dǎo)體精密運動平臺XY軸采用直線電機(jī)驅(qū)動,滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋組成,R軸直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn),Z軸布置于平臺大理石橫梁,常用于半導(dǎo)體精密制造及檢測。

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